每周巡檢（1 次 / 周）：重點檢查設備外觀、連接狀態與環境參數。包括：臺面清潔（清除測試殘留的粉塵、樣品碎屑，避免雜質影響振動精度）、電纜接頭緊固（尤其是動圈供電電纜，防止高頻振動導致接觸不良）、冷卻系統狀態（風扇 / 水冷裝置是否正常運轉，濾網是否堵塞）。同時記錄設備運行電流、溫度等基礎參數，若電流波動超 ±5% 或臺面溫度超 40℃，需及時排查原因。

每月保養（1 次 / 月）：在周檢基礎上深化維護。包括：導向機構潤滑（對空氣軸承或直線軸承加注專用潤滑脂，避免干摩擦影響高頻響應）、振動參數校準（使用標準加速度計檢測 1000Hz、5000Hz 等關鍵頻率點的振幅誤差，若超 ±1% 需通過控制器修正）、軟件系統維護（更新控制軟件補丁，備份測試數據與參數配置）。某半導體廠運維數據顯示，堅持每月校準可使高頻電磁振動臺的測試數據重復性誤差降低 30%。

季度維護（1 次 / 3 個月）：針對高頻運行易損耗部件。重點檢查動圈狀態：拆除臺面后觀察線圈絕緣層是否破損（高頻電流易導致局部發熱，絕緣層老化會引發短路風險）、測量線圈直流電阻（與初始值偏差超 5% 需更換動圈）；同時檢查位移傳感器 / 加速度傳感器的信號穩定性，若信號噪聲超閾值，需重新校準或更換傳感器。

半年維護（1 次 / 6 個月）：聚焦磁路與控制系統。包括：永磁體磁場強度檢測（使用高斯計測量氣隙磁感應強度，若較初始值衰減超 10%，需補充充磁或更換永磁體，避免推力下降影響高頻輸出）、功率放大器維護（清理內部灰塵，檢測輸出功率穩定性，確保高頻段電流輸出無失真）。

年度大修（1 次 / 年）：全面拆解檢測與性能恢復。包括：動圈組件整體更換（即使外觀無明顯損壞，高頻振動 1 年累計運行超 1000 小時后，線圈疲勞度會顯著上升，繼續使用易引發突發故障）、磁路氣隙清理（清除長期運行積累的金屬粉塵，避免磁場分布不均）、整機性能復測（按出廠標準檢測頻率響應、推力、振幅穩定性等全參數，確保設備恢復至狀態）。航空航天領域的高頻電磁振動臺因使用強度高，部分企業將年度大修周期縮短至 8 個月。