近日，廣東皓天檢測(cè)儀器有限公司與深圳華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司達(dá)成深度合作，共同開(kāi)發(fā)晶圓級(jí)快速溫變測(cè)試箱可靠性驗(yàn)證系統(tǒng)。此舉正值半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)高速增長(zhǎng)期，SEMI 數(shù)據(jù)顯示 2025 年半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備銷(xiāo)售額預(yù)計(jì)達(dá) 93 億美元，同比增長(zhǎng) 23.2%，其中環(huán)境可靠性測(cè)試設(shè)備需求增速。

技術(shù)方案上，該系統(tǒng)延續(xù)了廣皓天在快速溫變測(cè)試箱領(lǐng)域的材料創(chuàng)新經(jīng)驗(yàn)，采用特種耐候鋼箱體配合環(huán)氧樹(shù)脂涂層的雙重防護(hù)結(jié)構(gòu)，同時(shí)新增晶圓真空吸附定位裝置，實(shí)現(xiàn) ±0.5μm 的測(cè)試定位精度。通過(guò)與華芯半導(dǎo)體的工藝協(xié)同，將芯片電性能測(cè)試模塊與溫變系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，可在溫度循環(huán)過(guò)程中同步完成邏輯功能驗(yàn)證與靜態(tài)參數(shù)測(cè)量，測(cè)試效率較傳統(tǒng)設(shè)備提升 40%。